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成套超高真空系统及设备

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成套超高真空系统及设备

  • 所属分类：半导体与其他

  • 点击次数：
  • 发布日期：2023/04/23
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详细介绍

成套超高真空系统及设备

成套超高真空设备广泛应用于材料科学、光学、物理学、空间科学实验、精密加工等领域的科研与生产中。


一、真空高压测试装置：

1682234026378379.jpg

二、磁控溅射设备

1682234162784879.jpg

三、磁控溅射膜厚生长设备：

成套超高真空系统及设备2.jpg

技术参数：

真空室尺寸：按要求定制

漏率：     ＜10-8pa.l/s

真空室材质：304/316L  可选






















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